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反应蒸镀
释义
反应蒸镀
材料科学卷
反应蒸镀
将活性气体导入真空室,使活性气体的原子、分子与来自蒸发源的金属原子、低价化合物分子在基体表面沉积过程中发生反应,形成化合物薄膜的真空蒸镀工艺。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2025/10/30 15:03:20