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区熔提纯
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区熔提纯
信息科学卷
区熔提纯
一种提纯技术。将锭的一部分熔化形成熔区,然后将熔区缓慢地从锭头移到锭尾,利用分凝现象使杂质集中在锭头或锭尾,多次重复以达到提纯中部材料的目的。用于半导体、冶金、化工等领域。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2025/7/6 13:02:13