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二极溅射
释义
二极溅射
材料科学卷
二极溅射
由膜料制成的溅射靶材为阴极,工件为阳极构成真空镀膜室内的两电极,通电通气后利用气体的辉光放电、等离子体技术进行镀膜的方法。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2026/6/15 11:14:18