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钽基介电薄膜
释义
钽基介电薄膜
材料科学卷
钽基介电薄膜
用溅射法在基片上沉积以金属钽为基的介电薄膜。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 有色金属材料
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更新时间:2026/9/14 2:57:50