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字词 绝缘体上锗硅材料
释义
绝缘体上锗硅材料
绝缘体上锗硅材料  英语缩写SGOI。由绝缘衬底和锗硅层组成的硅基半导体材料。结合了绝缘体上硅和锗硅两种先进技术的优势。制备技术有注氧隔离、智能剥离等。是应变硅技术的理想衬底材料。广泛用于硅基微电子、光电子等领域。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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更新时间:2025/7/3 3:31:40