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离子源
释义
离子源
材料科学卷
离子源
一种采用电磁场原理致使气体或固体原子电离而不断产生离子的装置。最典型的有考夫曼离子源和金属蒸气真空弧离子源。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2025/7/4 15:20:53