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离子束溅射
释义
离子束溅射
材料科学卷
离子束溅射
采用一个从与成膜室隔开的离子源中引出的高能离子束,轰击处于成膜室的靶材而进行溅射镀膜的方法。由于离子束溅射能独立控制轰击离子的能量和束流密度,并且基片不接触等离子体,有利于控制膜层质量,但镀膜速率低。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2026/9/13 18:31:17