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短沟道效应
释义
短沟道效应
信息科学卷
短沟道效应
金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)的沟道长度减小到一定程度后出现的一系列物理效应。包括:阈值电压随沟道长度降低而降低;载流子速度饱和效应;影响器件寿命的热载流子效应等。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
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更新时间:2026/8/1 4:08:34