出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
字词 | 电阻加热蒸镀 |
释义 | 电阻加热蒸镀 电阻加热蒸镀 采用片状或丝状的钨、钼、钽等高熔点金属做成一定形状的蒸发源(电阻元件),利用大电流通过蒸发源所产生的焦耳热,对蒸发材料进行直接加热蒸发,或将膜料放入氧化铝、氧化铍等坩埚中进行间接加热蒸发并在基体表面成膜的真空蒸镀工艺。 出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性 |
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