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溅射产额
释义
溅射产额
信息科学卷
溅射产额
在溅射过程中,入射一个高能荷电粒子所溅射出的靶材原子个数。可用来衡量溅射速度。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2026/6/16 11:12:41