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浸没式光刻
释义
浸没式光刻
信息科学卷
浸没式光刻
将某种液体充满投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片之间,通过改变折射率来增加系统的数值孔径的光刻技术。可以将光刻的特征尺寸从193纳米减小到45纳米以下,大大提高其分辨率。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2026/6/16 5:26:28