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栅氧层
释义
栅氧层
信息科学卷
栅氧层
用来把栅极与下方源极、漏极以及源漏极间导电沟道隔离开来的氧化介质层。是绝缘体。通过将沟道上方的硅氧化为二氧化硅而形成,其厚度大约为5~200纳米。栅氧化层使得栅极能够维持1~5毫伏/米
3
的纵向电场,这个电场可以用来控制下方沟道的导通和关断。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
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更新时间:2025/7/3 18:00:33