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常压化学气相沉积
释义
常压化学气相沉积
材料科学卷
常压化学气相沉积
在常压条件下的化学气相沉积方法。反应气体(如硅烷、硼烷和氧)在常压下起化学反应而生成一层固态的生成物沉积于衬底上。其沉积工艺参数易控制,重复性好、宜于批量生产。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2025/7/3 20:30:45