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射频等离子体化学气相沉积
释义
射频等离子体化学气相沉积
材料科学卷
射频等离子体化学气相沉积
利用射频等离子体激活气相反应进行化学气相沉积的方法。为了产生射频等离子体,必须对反应室加上射频电磁场。反应室压强保持在0.13×10
6
帕左右。在射频电磁场作用下,自由电子的运动引起反应物气体分子的电离,产生等离子体,由此降低化学反应的势垒,使一些难以进行的化学反应变得容易。衬底和等离子体之间加有偏压,可诱导在衬底上沉积。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2026/3/17 5:53:39